トップ > 知的財産検索 > 知的財産情報一覧 > 化学・金属 > 表面加工・製膜 　◆知的財産検索 知的財産情報一覧｜企業様向け 問い合わせ 化学・金属 整理番号：0033 酸化物膜の構造を制御する方法及び該方法に使用する装置 最終更新日2004年10月13日(水)15時00分 ・特許番号 特許第３５２１２２３号（Ｐ３５２１２２３） ・登録日 平成１６年２月２０日（２００４．２．２０） ・公開番号 特開２００２－１０５６４２（Ｐ２００２－１０５６４２Ａ） ・公開日 平成１４年４月１０日（２００２．４．１０） ・発明の要約 大気開放型ＣＶＤ法において、各種の基材表面に堆積する酸化物膜の構造、特に酸化物膜内の０．１ｎｍ～１００μｍの微細な構造を制御する方法、及び該方法に使用する装置を提供する。 ・発明者名 斎藤　秀俊、他 ・所属機関 長岡技術科学大学　工学部、他 この研究に関しての問い合わせ。 トップ > 知的財産検索 > 知的財産情報一覧 > 化学・金属 > 表面加工・製膜
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